اسپین کوتر
اسپین کوتر
اسپین کوتر
فروش دستگاه اسپین کوتر
در تاریخ 13 ژوئیه 2022، دستگاه پخش چسب که به طور تخصصی به عنوان پوششدهنده چرخشی نیز شناخته میشود، معمولاً برای پوشش مقاوم به نور روی ویفرها یا در آزمایشهای سل-ژل استفاده میشود. اصلیترین عملکرد یک دستگاه پوشش چرخشی این است که چسبهای مختلف را با سرعت بالا بر روی یک بستر چرخان پراکنده کرده و از نیروی گریز از مرکز برای ایجاد پوشش چسب یکنواخت بر روی بستر استفاده کند. ضخامت لایه پوشش به ویژگیهای چسب، ویسکوزیته، سرعت چرخش و زمان پوشش مرتبط است. به طور کلی، زمانی که سرعت بیش از 2000 دور در دقیقه باشد، میتوان بیشتر چسب را به طور یکنواخت توزیع کرد و سرعت یکنواخت اسپیندل مهمترین عامل برای یکنواختی و سازگاری ضخامت فیلم است.
روشهای پوشش چرخشی اسپین در زمینههای مختلفی از جمله ریزپردازش سیستمهای میکروالکترومکانیکی، زیستشناسی، مواد، نیمهها، صفحهسازی، انرژیهای نو، لایههای نازک، اپتیک و پوششدهی سطحی مورد استفاده قرار میگیرد. این روش برای پوشش نمونههایی که زیرلایه آنها قابل استفاده نیست، نیز مناسب است و معمولاً از روشهایی مانند غوطه وری یا خراشزدن برای پوشش استفاده میشود.
دو روش اصلی برای تثبیت نمونهها وجود دارد: استفاده از چاک خلاء و صفحه نمونه شیاردار. برای تثبیت نمونه با استفاده از چاک وکیوم، دستگاه خلاء لازم است که برای تثبیت بسترهای با سطح صاف مناسب است. به طور معمول، صفحه نمونه شیاردار برای تثبیت بسترهای نرم با اندازه بزرگتر و شکل نامنظم استفاده میشود.
در مورد مدلها و ویژگیهای دستگاههای پوشش چرخشی، میتوان به موارد زیر اشاره کرد:
روکش چرخشی مدل VTC-50A بوسیله یک کامپیوتر تک تراشه با ضد تداخل بالا کنترل می گردد و دارای سرعت چرخش بسیار پایدار در محدوده 1000 تا 8000 دور در دقیقه است. این دستگاه دو مرحله کار برای پوشش دارد. در مرحله کم سرعت یا T1، مایع فیلم به آرامی پراکنده میشود و عمل تزریق چسب کامل می گردد، در حالی که در مرحله سرعت بالا یا T2، مایع فیلم به طور یکنواخت بر روی سطح بستر پخش میشود. برای تولید فیلم با ضخامت یکنواخت، فرآیند چسب کامل می گردد. جهت تثبیت زیرلایه از یک صفحه نمونه PP شیاردار استفاده می گردد. با توجه به شکل و اندازه زیرلایهها، شیارهایی با شکل و اندازههای متفاوت بر روی شابلون (که همراه با پوشش اسپین تحویل داده میشود) باز میشوند. استفاده از این دستگاه آسان و کارکرد آن بسیار ساده است و به زیرلایه آسیب و صدمه ای وارد نمی سازد. اندازهی بیشینه نمونههای قابل ثابتکردن 55 در 55 میلی متر می باشد .
دستگاه روکش چرخشی وکیوم VTC-100 به صورت استاندارد با 3 چاک وکیوم در اندازه های مختلف در دسترس است. بستر با استفاده از جذب چاک خلاء ثابت میشود و از برنامه دو مرحلهای برای کنترل سرعت استفاده میشود. دو مرحله عمل برای پوشش وجود دارد، ابتدا مرحله کم سرعت T1 برای تزریق چسب و سپس مرحله با سرعت بالا T2 جهت تراز کردن چسب. پس از تسطیح فیلم، پمپ خلاء به مدتی ادامه میدهد تا دستگاه کاملاً از کار بیافتد و فرآیند پوشش فیلم به پایان برسد. حداکثر محدوده سرعت این دستگاه بین 500 و 8000 دور در دقیقه است و اندازهی بیشینه نمونههای قابل جذب φ100 میلیمتر می باشد.
روکش اسپین خلاء VTC-100PA مناسب برای تولید فیلمهای پوشش دهنده از محلولهای پوشش اسیدی قوی و قلیایی قوی استفاده میشود. این تجهیزات دارای دو چاک خلاء با اندازههای مختلف برای تعمیر نمونهها میباشند. همچنین، قادر به ذخیره 12 مجموعه برنامه است، و هر مجموعه شامل 6 مرحله اجرا میباشد. سرعت چرخش تجهیزات در مراحل مختلف عملیات متفاوت است و به آرامی تا حد سرعت بالا افزایش مییابد که باعث یکنواختی فیلم روی سطح نمونه میشود و صرفهجویی در مواد پوشش ایجاد میکند. محدوده سرعت این دستگاه بین 500rpm تا 10000rpm است و حداکثر اندازه نمونههای قابل جذب φ100mm میباشد. همچنین، میتوان پوشش بالایی دستگاه را با قابلیت گرمایش به صورت سفارشی درخواست نمود.
محفظه اسپین روکش UV VTC-100PA-UV از مواد PP ساخته شده است و میتوان از آن برای محلولهای اسیدی و قلیایی قوی استفاده نمود. این دستگاه دارای یک روکش بالایی با عملکرد تابش نور UV است که برای چسبهای حساس به نور UV مناسب میباشد. همچنین، این محفظه به سوراخهای ورودی هوا مجهز است که میتوان از آنها برای ورود گاز محافظ در طول فرآیند تراز کردن چسب استفاده نمود. نمونهها با استفاده از جذب خلاء تثبیت میشوند. با مجهز شدن به یک ابزار مرکزی مخصوص، نمونهها را میتوان به راحتی در مرکز چاک خلاء قرار داد تا لرزش ناشی از خروج از مرکز کاهش یابد و از پرتاب شدن جلوگیری نماید. محدوده سرعت این دستگاه بین 500 تا 10000rpm متغیر است و حداکثر اندازه نمونههای قابل جذب φ100mm میباشد.
دستگاه روکش اسپین خلاء VTC-200P از مواد PP ساخته شده است و برای تولید فیلمهای پوشش از محلولهای اسیدی و قلیایی قوی استفاده میشود. نمونهها با استفاده از چاک خلاء تثبیت میشوند. این دستگاه قادر به ذخیره 12 مجموعه برنامه است، و هر برنامه شامل شش مرحله اجرا میباشد. محدوده تنظیم سرعت این دستگاه برای هر مرحله از 100 تا 2000 دور در دقیقه است، و محدوده زمان هر مرحله از 0 تا 60 ثانیه متغیر است. سرعت چرخش در مراحل مختلف عملیات متفاوت است و به آرامی تا سرعت بالایی افزایش مییابد که باعث یکنواختی فیلم روی سطح نمونه میشود و منجر به صرفه جویی در مواد پوشش میگردد. این دستگاه میتواند با تجهیزات گرمایشی بالا، برای فرآیند پوشش مواد با ویسکوزیته بالا مفید باشد. محدوده سرعت این دستگاه بین 500 تا 6000 دور در دقیقه است.دستگاه اسپین کوتر، که به آن لایهنشانی اسپینی یا لایهنشانی چرخشی یا لایهنشانی دورانی نیز اشاره میشود، ابزاری است که برای تولید لایههای نازک در مقیاسهای میکرومتری و نانومتری به کار میرود. در این فرآیند، پارامترهای اصلی جایگیری فیلم بر روی سطح، نیروی گرانش و تنش سطحی هستند.
در دستگاه اسپین کوتر یا همان لایهنشانی دورانی، نیروی گریز از مرکز باعث حرکت مایع از مرکز به حاشیه میشود که این امر منجر به ایجاد یک لایه بسیار نازک بر روی سطح فیلم میگردد. عملکرد این دستگاه به گونهای است که دوران ادامه مییابد تا زمانی که مایع به سمت لبههای سطح رانده شود.
حلال استفاده شده غالباً فرار است و در عین حال به طور همزمان تبخیر میشود. هرچه سرعت دورانی بیشتر و فرکانس بالاتر باشد، فیلم تشکیل شده ضخامت کمتری خواهد داشت. ضخامت فیلم به ویسکوزیته، غلظت محلول و حلال بستگی دارد. در میان مراحل انجام عملیات، مرحلههای تبخیر و چرخش بیشترین اثر را بر اندازه ضخامت پوشش نهایی دارند.
مرحله های لایه نشانی
1) ریختن محلول بر روی لایه زیرین: در این بخش بسته به میزان غلظت محلول، تمام یا قسمتی از زیر لایه با محلول کاملا پوشانده می گردد. میزان محلولی که صرف این کار می گردد، خیلی بیشتر از مقداری است که در نهایت بر روی لایه زیر باقی خواهد ماند.
2) شتاب گرفتن صفحه چرخان: در این بخش، صفحه چرخنده تا سرعت نهایی و پایانی شتاب میگیرد. برایند نیروی گریز از مرکز و نیروی ناشی از تغییرات و نوسانات سرعت، موجب پخش شدن محلول روی زیر لایه می شود و لایههای رویی و بالاتر محلول که نسبت به زیر لایه دارای میزان چسبندگی کمتری هستند، به شکل شعاعی از سیستم خارج می گردند. در این قسمت مقدار فراوانی از محلول خارج می گردد.
3)چرخش با یک سرعت ثابت: در این بخش، لایه نازکتر می گردد و نیروهای گریز از مرکز و چسبندگی در این قسمت موجود هستند. در این بخش لایه به طور تقریبی، به ضخامت نهایی و پایانی می رسد.
عواملی که در به دست آوردن فیلم همگن و یکنواخت موثر می باشند به شرح ذیل می باشد:
1)سرعت چرخش
2) زمان چرخش
3) غلظت محلول
فن و تکنیک اسپین کوتر معمولاً برای لایهنشانی پلیمرها به صورت محلول و با حلال فرار استفاده میشود. این روش انتخاب معمول برای لایهنشانی پلیمرها است زیرا پلیمرها نمیتوانند به روش تبخیر حرارتی لایهنشانی شوند؛ زیرا در دماهای بالا به منومر تجزیه میشوند و خواص آنها کاملاً تغییر میکند.
عوامل تاثیرگذار بر تشکیل لایهنشانی شامل دو مرحله تبخیر و چرخش با سرعت ثابت هستند که بیشترین تأثیر را بر ضخامت پوشش نهایی دارند. ضخامت و سایر خواص لایهنهایی به ویسکوزیته، سرعت خشک شدن، درصد مواد جامد، کشش سطحی و پارامترهای سرعت چرخش نهایی (شتاب و تبخیر حلال) بستگی دارند.
پارامترهای اصلی و مهم برای قرار گرفتن فیلم بر روی سطح صاف شامل نیروی گرانش و تنش سطحی هستند. در دستگاه لایهنشانی چرخشی، شتاب گریز از مرکز باعث پخش و گسترش مواد از بخشهای مرکزی به لبه میشود که در نتیجه، یک لایه نازک بر روی بستر تشکیل میشود. افزایش سرعت چرخش منجر به لایههای بسیار نازک میشود، در حالی که کاهش سرعت چرخش به لایههای ضخیمتر منتهی میشود. بنابراین، باید سرعت و زمان را با توجه به مقدار چسبندگی و سطح و جنس زیر لایه مناسب انتخاب کرد.
استفاده از دستگاه اسپین کوتر یا روشهای پوشش دورانی در موارد زیر کاربرد دارد:
- لاک زدن بر روی قرصهای زیرساخت در صنایع میکروالکترونیک و فناوریهای میکرو.
- لایهنشانی انواع مواد آلی و شیمیایی.
- لایهنشانی مواد محلول و ژلهای مانند سلژلها، پلیمرها، رنگها و غیره.
- لیتوگرافی، ساخت چیپهای میکروالکترونیک، میکروفلویدیک حسگرهای اماماس و لایهنشانی پی دی ام اس و سول ژل.
- تولید و ساخت دیسکهای مغناطیسی.
- ساخت و تولید دیودهای نوری.
- ساخت و تولید ترانزیستورهای اثرمیدانی.
- ساخت و تولید لوحهای فشرده مانند سی دی رم و دی وی دی رم.